薄膜ガスセンサ

Thin film gas sensor

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To integrate gas sensing layers for a plurality of gases into one chip. SOLUTION: This thin film gas sensor comprises a substrate 1 having a diaphragm section thinner than the outer periphery or an opening in a central part, a supporting layer 2 disposed on the substrate, a heater 5 disposed on the supporting layer and at a position corresponding to the central part, an electrical insulation layer 6 disposed on the heater, first and second gas sensing layers 10 and 20 where resistor values vary according to the composition of gases in the environment and that are disposed on the electrical insulation layer, at the positions corresponding to the central part, and at an interval so as to control the temperature with the heater, a first pair of electrodes 15 and 16 disposed in electric contact with the first gas sensing layer, and a second pair of electrodes 25 and 26 disposed in electric contact with the second gas sensing layer. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】 本発明は、複数のガスに対するガス感知層を1チップ化することを目的とする。 【解決手段】 薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板1と、基板の上に設けられた支持層2と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター5と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層6と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第1および第2のガス感知層10,20であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第1および第2のガス感知層と、第1のガス感知層と電気的に接触して設けられた第1の電極対15,16と、第2のガス感知層と電気的に接触して設けられた第2の電極対25,26とを備えるセンサが提供される。 【選択図】 図1

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