Stamper, concavo-convex pattern formation method and information recording medium manufacturing method

スタンパー、凹凸パターン形成方法および情報記録媒体製造方法

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stamper capable of forming a concavo-convex pattern, having the concave parts with desired aperture length, with a high degree of accuracy. <P>SOLUTION: A concavo-convex pattern 5 is formed so that, to each of areas where the area ratio of a concave part 5b to a convex part 5a is different, the larger the area is in terms of the area ratio, the shallower the depth of the concave part 5b is. In this case, as an example, in a stamper 1 for information recording medium manufacturing, the concavo-convex pattern 5 is formed so that the area ratio of the concave part 5b to the convex part 5a inside a burst pattern formation area Abs becomes larger than the area ratio of the concave part 5b to the convex part 5a inside a data track pattern formation area Ats, and also it is formed so that the depth D1 of the concave part 5b within the burst pattern formation area Abs becomes shallower than the depth D2 of the concave part 5b inside the data track pattern formation area Ats. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
【課題】所望の開口長の凹部を有する凹凸パターンを高精度で形成し得るスタンパーを提供する。 【解決手段】凸部5aに対する凹部5bの面積比が相違する各領域に対して面積比が大きい領域ほど凹部5bの深さが浅くなるように凹凸パターン5が形成されている。この場合、一例として、情報記録媒体製造用のスタンパー1においては、データトラックパターン形成領域Ats内の凸部5aに対する凹部5bの面積比よりもバーストパターン形成領域Abs内の凸部5aに対する凹部5bの面積比が大きくなるように凹凸パターン5を形成すると共にデータトラックパターン形成領域Ats内の凹部5bの深さD1よりもバーストパターン形成領域Abs内の凹部5bの深さD2が浅くなるように形成する。 【選択図】図6

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